徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

徳島大学ウェブサイトへのリンク

著作: [富永 喜久雄]/Umezu Norio/Mori Ichiro/Ushiro Tomoko/[森賀 俊広]/[中林 一朗]/Properties of films of multilayered ZnO:Al and ZnO deposited by an alternating sputtering method/[Thin Solid Films]

ヘルプを読む

「著作」(著作(著書,論文,レター,国際会議など))は,研究業績にかかる著作(著書,論文,レター,国際会議など)を登録するテーブルです. (この情報が属するテーブルの詳細な定義を見る)

  • 項目名の部分にマウスカーソルを置いて少し待つと,項目の簡単な説明がツールチップ表示されます.

この情報をEDB閲覧画面で開く

EID
16731
EOID
707261
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 12:00:45
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
森賀 俊広
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
  2. 徳島大学.工学部.化学応用工学科.化学プロセス工学講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Umezu Norio
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Mori Ichiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Ushiro Tomoko
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 森賀 俊広([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 中林 一朗
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Properties of films of multilayered ZnO:Al and ZnO deposited by an alternating sputtering method

副題 任意
要約 任意

(日) ZnO:Al ターゲットとZnターゲットを一定時間間隔で交互にスパッタする交代式スパッタ法で,ZnO:AlとZnOの多層膜構造を作製した.ZnO:Al 層の間に挟んだZnO層の効果につて調べた.ZnO:Al層の厚さを一定の下でAl2O3を2 wt%添加したZnO:Alの場合,ZnOの厚さの増加によりキャリア密度とホール移動度の両方が増加した.同時に,結晶粒成長も観察された.Al2O3=6 wt%と過剰に酸化アルミニウムを添加したZnO:Al膜に対しては移動度は増すが,キャリア密度は減少した.後者で,ZnO:Al+ZnOの厚さを一定に保ちZnOの厚さを変えると,ZnO:Al/ZnO=0.2/0.8のときZnO:Al(Al2O3=3 wt%)での最小抵抗値に近い抵抗地が得られた.両者はAl2O3の添加量が等しい.これらの結果は,ZnO:Al toZnOが共存するとき,Al2O3の一定比率の添加量で抵抗の最低値をとることを示している.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Thin Solid Films([Elsevier])
(resolved by 0040-6090)
ISSN: 0040-6090 (pISSN: 0040-6090)
Title: Thin solid films
Title(ISO): Thin Solid Films
Publisher: Elsevier Sequoia
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 343-344
必須
必須 160 163
都市 任意
年月日 必須 1999年 1月 1日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意