徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/Umezu Norio/Mori Ichiro/Ushiro Tomoko/[森賀 俊広]/[中林 一朗]/Properties of ZnO:In Film prepared by sputtering of Facing ZnO:In and Zn targets/[Journal of Vacuum Science & Technology A]

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EID
16717
EOID
707259
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 12:00:45
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
森賀 俊広
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
  2. 徳島大学.工学部.化学応用工学科.化学プロセス工学講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Umezu Norio
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Mori Ichiro
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Ushiro Tomoko
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 森賀 俊広([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 中林 一朗
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Properties of ZnO:In Film prepared by sputtering of Facing ZnO:In and Zn targets

副題 任意
要約 任意

(日) 透明導電膜であるインジウム添加の酸化亜鉛膜も多く研究されているが,本論文では,対向ターゲット式プレーナマグネトロンスパッタ装置でZnO:In膜を作製するとき,In2O3=1.5, 3, 9 wt%の3種のターゲットから等価的にInの添加量を変えた.キャリア密度nは3wt%の時に達成された.n=kCD-NAの実験結果が得られた.NAは欠陥密度といえる.NA=4x1020cm-3とかなり大きいことがわかった.また,キャリア密度は作製時の基板温度が150℃で最高値を示し,300℃では急激なnの過低下を示した.Inの蒸発が予想された.また,Znの過剰供給の条件でZnO:In膜作製を行っても,ほとんど抵抗率への影響は見られなかった.ZnO:Al膜とは異なる.これは,Znの過剰添加によってもInのドナーになる効率は上昇しないことによる.すなわち,ZnO:Inでは,すでにすべての添加されたInがドナーになっているためであると考えられる.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Journal of Vacuum Science & Technology A(American Vacuum Society/[American Institute of Physics])
(resolved by 0734-2101)
ISSN: 0734-2101 (pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
Title: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol A
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1520-8559)
ISSN: 0734-2101 (pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
Title: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol A
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 A16
必須 3
必須 1213 1217
都市 任意
年月日 必須 1998年 9月 1日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意