徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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共同研究: [徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座]/[富永 喜久雄]/[向井 孝志]/[企業との共同研究]/[分担]

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EID
164980
EOID
706737
Map
0
LastModified
2013年8月23日(金) 15:59:52
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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組織 必須
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
    研究者 必須
    1. 富永 喜久雄
研究者1
  1. 向井 孝志([日亜化学工業株式会社])
種別 必須 企業との共同研究
テーマ 必須

(英) Investigation of film deposition and etching of nitride by sputtering

(日) スパッタ法による窒化物薄膜合成とエッチングに関する研究

期間 必須 2006年 6月 初日〜2007年 3月 31日
区分 任意 分担
金額 推奨
  1. 600.0千円
備考 任意