徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [英 崇夫]/細田 祐吉/[日下 一也]/[富永 喜久雄]/Abnormal Residual Stress State in ZnO Films Synthesized by Planar Magnetron Sputtering System with Two Facing Targets/[Thin Solid Films]

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EID
16301
EOID
328497
Map
0
LastModified
2007年2月14日(水) 16:01:55
Operator
日下 一也
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
日下 一也
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座
  2. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 英 崇夫
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Hosoda Hiroyosi / (日) 細田 祐吉 / (読) ほそだ ひろよし
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 日下 一也([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Abnormal Residual Stress State in ZnO Films Synthesized by Planar Magnetron Sputtering System with Two Facing Targets

副題 任意
要約 任意

(英) The structure and residual stresses of ZnO films synthesized by a planar magnetron sputtering system with two facing targets were investigated by X-ray diffraction. ZnO films were deposited onto a sheet of Corning 7059 glass. The X-ray diffraction pattern shows that the film has high [00·1} orientation. Residual strains were measured on various diffraction lines that appear at special angles from the surface normal. The strains taken from positive and negative differed from each other. This behavior is deduced from the existence of a shear stress component in a cross-section of the film. The magnitude of the shear stress increased with increasing current density of the Zn target as well as with decreasing argon gas pressure.

(日) 対向ターゲット式プレーナマグネトロンスパッタリングによって生成したZnO膜の構造と残留応力をX線回折によって調べた.ZnO膜をはコーニング#7059ガラス上に堆積した.X線回折線図から,膜が高い{00·1}配向性を有することが明らかになった.残留応力は基板法線から特別な角度ψで現れるいろいろな回折線により測定される.+ψおよび-ψから得られるひずみは互いに異なっていた.このふるまいは膜の断面にせん断応力成分の存在が推定される.アルゴンガス圧を減少させることとZnターゲットの供給電流を増加させるとともに,せん断応力の大きさは増加する.

キーワード 推奨
発行所 推奨 Elsevier Science
誌名 必須 Thin Solid Films([Elsevier])
(resolved by 0040-6090)
ISSN: 0040-6090 (pISSN: 0040-6090)
Title: Thin solid films
Title(ISO): Thin Solid Films
Publisher: Elsevier Sequoia
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 343-344
必須
必須 164 167
都市 任意
年月日 必須 1999年 11月 1日
URL 任意 http://www.sciencedirect.com/science?_ob=ArticleURL&_udi=B6TW0-3Y6PSMH-32&_user=106892&_handle=B-WA-A-A-AZC-MsSAYVW-UUA-AUECWVVEWC-AUEWYWCDWC-CDAYCUBYW-AZC-U&_fmt=summary&_coverDate=04%2F30%2F1999&_rdoc=43&_orig=browse&_srch=%23toc%235548%231999%23996559999%23150101!&_cdi=5548&view=c&_acct=C000008258&_version=1&_urlVersion=0&_userid=106892&md5=23fbe0a77d242b3c1c749a9a7a3d5f00
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意