徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: 土谷 茂樹/[三輪 昌史]/金子 礼三/半導体静電アクチュエータの動作に及ぼす不純物濃度の影響に関する理論的検討/[電気学会論文誌E (センサ・マイクロマシン部門誌)]

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EID
157896
EOID
729687
Map
0
LastModified
2014年4月9日(水) 11:59:11
Operator
松井 栄里
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
三輪 昌史
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 日本語
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 和歌山大学
著者 必須
  1. (日) 土谷 茂樹
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 三輪 昌史([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.知能機械学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.知能機械学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (日) 金子 礼三
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Theoretical study on influence of impulity concentration on behavior of a semiconductor electrostatic actuator

(日) 半導体静電アクチュエータの動作に及ぼす不純物濃度の影響に関する理論的検討

副題 任意
要約 任意

(英) Influence of impulity concentration on behavior of a semiconductor electrostatic actuator in low frequency drive voltage has been analyzed theoretically. The actuator has a p-type silicon movable electrode supported by cantilever beams and a metal fixed electrode opposing to the movable one. When gap width between the electrodes is fixed, capacitance between them changes depending on the drive voltage and rate of the change increases with decrease of the concentration Na (15% in Na=1014cm-3 and 0.3%in Na=1018cm-3). For Na<1016cm-3, pull-in voltage and release voltage of displacement-voltage curves increases with decrease of the concentration, especially when positive voltage is applied to the fixed electrode. For Na>1016cm-3, the impulity concentration has almost no influences on the behavior of the actuator independent of the polarity of the drive voltage.

キーワード 推奨
  1. (日) 静電アクチエータ
  2. (日) 半導体
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    [キーワード] 半導体デバイス (semiconductor devices/->キーワード[半導体デバイス])
    [キーワード] 半導体電力変換装置 (semiconductor power converter)
    [キーワード] 半導体ナノ構造 (semiconductor nanostructures)
    [キーワード] 半導体レーザー (semiconductor laser)
  3. (日) MIS構造
  4. (日) C-V特性
  5. (日) 不純物濃度
  6. (日) Pull-in電圧
  7. (日) Release電圧
発行所 推奨 電気学会
誌名 必須 電気学会論文誌E (センサ・マイクロマシン部門誌)([電気学会])
(pISSN: 1341-8939, eISSN: 1347-5525)
ISSN 任意 1341-8939
ISSN: 1341-8939 (pISSN: 1341-8939, eISSN: 1347-5525)
Title: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
Supplier: 一般社団法人 電気学会
Publisher: The Institute of Electrical Engineers of Japan
 (J-STAGE  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 121
必須 1
必須 26 31
都市 任意
年月日 必須 2001年 1月 1日
URL 任意 http://ci.nii.ac.jp/naid/10005725818/
DOI 任意 10.1541/ieejsmas.121.26    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意 10005725818
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意