徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [後藤 信夫]/宮崎 保光/簡易型パルスステージとピエゾステージの協調制御による高精度レーザ描画システム/[電気学会論文誌C (電子,情報,システム部門誌)]

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EID
157698
EOID
672941
Map
0
LastModified
2012年12月18日(火) 11:28:08
Operator
松井 栄里
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
後藤 信夫
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 日本語
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 豊橋技術科学大学
著者 必須
  1. 後藤 信夫
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (日) 宮崎 保光
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(日) 簡易型パルスステージとピエゾステージの協調制御による高精度レーザ描画システム

副題 任意
要約 任意

(英) Precise patterning of optical waveguides is required in fabrication of integrated-optic circuits. In this paper, stage control for laser drawing system with 10nm precision is investigated. The precise control is performed by analog and digital feedback with pulse stages and piezo stages. Mechanical fluctuation and vibration due to pulse drive by stepping motors are compensated by piezo stage. Further, cooperation of pulse and piezo stages is demonstrated to make smooth translation of stage possible.

キーワード 推奨
  1. (英) Laser drawing / (日) パターニング
  2. (英) Patterning / (日) フィードバック制御
  3. (英) Feedback control / (日) Laser drawing
  4. (英) Pulse stage / (日) Patterning
  5. (英) Piezo stage / (日) Feedback control
  6. (英) Pulse stage
  7. (英) Piezo stage
発行所 推奨 (英) The Institute of Electrical Engineers of Japan / (日) 社団法人 電気学会
データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
[組織] 電気学会
[組織] 電気設備学会
[組織] 放電学会
誌名 必須 電気学会論文誌C (電子,情報,システム部門誌)([電気学会])
(pISSN: 0385-4221, eISSN: 1348-8155)
ISSN 任意 0385-4221
ISSN: 0385-4221 (pISSN: 0385-4221, eISSN: 1348-8155)
Title: 電気学会論文誌. C
Supplier: 一般社団法人 電気学会
Publisher: The Institute of Electrical Engineers of Japan
 (J-STAGE  (J-STAGE  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 124
必須 10
必須 2123 2131
都市 任意
年月日 必須 2004年 6月 初日
URL 任意 http://ci.nii.ac.jp/naid/10013641156/
DOI 任意 10.1541/ieejeiss.124.2123    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意 10013641156
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意