徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [日下 一也]/[英 崇夫]/[富永 喜久雄]/Yamauchi Noriyoshi/Effect of substrate temperature on crystal orientation and residual stress in RF sputtered galium nitride films/[Materials Science Forum]

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EID
155573
EOID
943272
Map
0
LastModified
2019年4月17日(水) 13:54:24
Operator
三好 小文
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
日下 一也
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継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨 国内共著(徳島大学内研究者と国内(学外)研究者との共同研究 (国外研究者を含まない))
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.機械工学科教員
著者 必須
  1. 日下 一也([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 英 崇夫
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 富永 喜久雄
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Yamauchi Noriyoshi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Effect of substrate temperature on crystal orientation and residual stress in RF sputtered galium nitride films

副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Materials Science Forum([Trans Tech Publications Ltd])
(pISSN: 0255-5476, eISSN: 1662-9752)
ISSN 任意 1662-9752
ISSN: 1662-9752 (eISSN: 1662-9752)
Title: Materials Science Forum
Publisher: "Trans Tech Publications, Ltd."
 (CrossRef (No Scopus information.)
必須 490-491
必須
必須 613 618
都市 任意
年月日 必須 2005年 0月 初日
URL 任意
DOI 任意 10.4028/www.scientific.net/MSF.490-491.613    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意 2-s2.0-35148813506
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意