徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [松英 達也]/[英 崇夫]/池内 保一/[日下 一也]/坂田 修身/Alteration of internal stresses in SiO2/Cu/TiN thin films by X-ray and synchrotron radiation due to heat treatment/[Vacuum]

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EID
153368
EOID
724036
Map
0
LastModified
2014年2月17日(月) 15:37:17
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
日下 一也
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座
著者 必須
  1. 松英 達也([新居浜工業高等専門学校])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 英 崇夫
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Ikeuchi Yasukazu / (日) 池内 保一 / (読) いけうち やすかず
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 日下 一也([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Sakata Osami / (日) 坂田 修身 / (読) さかた おさみ
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Alteration of internal stresses in SiO2/Cu/TiN thin films by X-ray and synchrotron radiation due to heat treatment

副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
  1. (英) Multi layers film
  2. 残留応力(residual stress)
  3. 結晶構造(crystal structure)
  4. (英) Surface morphology
  5. X線回折(X-ray diffraction)
  6. シンクロトロン放射光(synchrotron radiation)
発行所 推奨 Elsevier Science
誌名 必須 Vacuum([Elsevier Science])
(pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
ISSN 任意 0042-207X
ISSN: 0042-207X (pISSN: 0042-207X, eISSN: 1879-2715)
Title: Vacuum
Title(ISO): Vacuum
Publisher: Elsevier Ltd.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 80
必須 7
必須 836 839
都市 任意
年月日 必須 2006年 5月 初日
URL 任意
DOI 任意 10.1016/j.vacuum.2005.11.033    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意 000238529300045
Scopus 任意 2-s2.0-33646553916
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意