徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/阿尾 高広/Sato Yoshifumi/[日下 一也]/[英 崇夫]/Magnetic field dependence of AlN film properties in DC facing target sputtering/4th International symposium on sputtering & plasma processes

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EID
120796
EOID
707237
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 11:54:13
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
日下 一也
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 国際会議
言語 必須 英語
招待 推奨 招待
審査 推奨
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
  2. 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Ao Takahiro / (日) 阿尾 高広 / (読) あお たかひろ
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Sato Yoshifumi
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 日下 一也([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.生産工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.生産工学講座])
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 英 崇夫
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Magnetic field dependence of AlN film properties in DC facing target sputtering

副題 任意
要約 任意
キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 (英) 4th International symposium on sputtering & plasma processes
ISSN 任意
必須
必須
必須 129 133
都市 必須 金沢(Kanazawa/[日本国])
年月日 必須 1997年 6月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意