徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [富永 喜久雄]/末吉 康彦/今井 拓/新谷 義広/酸化物のスパッタリングにおける高速負イオン束のTOF法による測定/第3回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム

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EID
120332
EOID
707157
Map
0
LastModified
2013年8月26日(月) 16:31:49
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.電気電子工学科]
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種別 必須 その他·研究会
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Sueyoshi Yasuhiko / (日) 末吉 康彦 / (読) すえよし やすひこ
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Imai Hiroshi / (日) 今井 拓 / (読) いまい ひろし
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Shintani Yoshihiro / (日) 新谷 義広 / (読) しんたに よしひろ
    データベース中に適合する可能性のある以下の情報を発見しました
    [個人] 新谷 義廣
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    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(日) 酸化物のスパッタリングにおける高速負イオン束のTOF法による測定

副題 任意
要約 任意

(英) The flux of energetic negative ions was observed by an TOF apparatus for the sputtering of ZnO:Al target. It was confirmed that there exist the flux of O-, O2-, O and O2. Gas pressure dependence of TOF signals due to the fluxes of O-, O2-, O and O2 was observed. The relative intensities of the flux es of O and O- ions was estimated. It is found that the flux of O- ions becomes strong at lower gas pressures below 5x10-3 Torr in Ar gas.

(日) ZnO:AlターゲットをArガス中でスパッタしたときの高速酸素負イオン,高速酸素原子,高速酸素分子の負イオン,高速酸素分子についてTOF法により評価した.高速酸素と高速酸素負イオンの相対強度を評価した.その結果,5x10-3Torr以下のArガス中では,高速酸素負イオンが強くなることを見出した.

キーワード 推奨
発行所 推奨 (英) BEAMS 1992 / (日) BEAMS 1992
誌名 必須 (英) Proceedings of the Third Symposium on Beam Engineering of Advanced materia Syntheses including Bio-Medical Materials and Treatments / (日) 第3回粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム
ISSN 任意
必須 ---
必須 ---
必須 473 476
都市 必須 東京(Tokyo/[日本国])
年月日 必須 1992年 11月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意