徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [森賀 俊広]/岡本 隆司/蛭田 和典/藤原 東洋/[中林 一朗]/[富永 喜久雄]/Structures and Physical Properties of Films Deposited by Simultaneous DC Sputtering of ZnO and In2O3 or ITO Targets/[Journal of Solid State Chemistry]

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EID
11906
EOID
856761
Map
0
LastModified
2017年6月12日(月) 14:31:49
Operator
三好 小文
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
森賀 俊広
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.化学応用工学科.化学プロセス工学講座
  2. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 森賀 俊広([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Okamoto Takashi / (日) 岡本 隆司 / (読) おかもと たかし
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
    適合する可能性のある以下の学生情報を発見しました
    《岡本 崇志 () @ 工学部 [学部学生] 1995年4月〜2000年3月》
    《岡本 隆司 () @ 工学研究科.博士前期課程 [大学院学生] 1998年4月〜2000年3月》
    《岡本 高志 () @ 総合科学部 [学部学生] 2000年4月〜2004年3月》
    《岡本 考史 () @ 薬学研究科.博士後期課程 [大学院学生] 1999年4月〜2006年3月》
    この情報が学生所属組織の業績等に分類されるためには学籍番号の登録が必要です.テキスト記載の個人が上記に掲げた個人本人ならば,学籍番号の登録を行ってください.(編集画面では学籍番号が表示されます)
  3. (英) Hiruta Kazunori / (日) 蛭田 和典 / (読) ひるた かずのり
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Fujiwara Azumi / (日) 藤原 東洋 / (読) ふじわら あずみ
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
    適合する可能性のある以下の学生情報を発見しました
    《藤原 東洋 () @ 工学部 [学部学生] 1994年4月〜2000年3月》
    この情報が学生所属組織の業績等に分類されるためには学籍番号の登録が必要です.テキスト記載の個人が上記に掲げた個人本人ならば,学籍番号の登録を行ってください.(編集画面では学籍番号が表示されます)
  5. 中林 一朗
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Structures and Physical Properties of Films Deposited by Simultaneous DC Sputtering of ZnO and In2O3 or ITO Targets

副題 任意
要約 任意

(日) 対向ターゲット式DCスパッタリング装置を用いて,酸化亜鉛-酸化インジウム系透明導電膜の作製を行った.基板温度を150℃として製膜を行った場合,幅広い組成領域でアモルファス相が生成した.インジウムリッチなアモルファス薄膜において最小抵抗率2.3x10-4ohmcmを示すこと,その後アモルファス相において,インジウム含有量が減少するにつれキャリア移動度は一定であるがキャリア濃度が減少するため結果として抵抗率が増加することを明らかにした.

キーワード 推奨
発行所 推奨 Academic Press(->組織[Elsevier Science])
誌名 必須 Journal of Solid State Chemistry([Elsevier])
(resolved by 0022-4596)
ISSN: 0022-4596 (pISSN: 0022-4596, eISSN: 1095-726X)
Title: Journal of solid state chemistry
Title(ISO): J Solid State Chem
Publisher: Elsevier Inc.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1095-726X)
ISSN: 0022-4596 (pISSN: 0022-4596, eISSN: 1095-726X)
Title: Journal of solid state chemistry
Title(ISO): J Solid State Chem
Publisher: Elsevier Inc.
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 155
必須
必須 312 319
都市 任意
年月日 必須 2000年 12月 1日
URL 任意
DOI 任意 10.1006/jssc.2000.8919    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意 2-s2.0-0034490983
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意