徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: Yamanaka, Kazushi/[西野 秀郎]/Cho, Hideo/Nagata, Yoshihiko/Koda, Toshio/Inaba, Masatoshi/Sato, Akinobu/Tsukahara, Yusuke/Noncontact characterization of crystal surface and thin films by thye phase velocity scanning of laser interference fringes/Proceedings of IEEE Ultrasonic symposium

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EID
118372
EOID
216774
Map
0
LastModified
2005年3月11日(金) 20:42:59
Operator
西野 秀郎
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
西野 秀郎
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 国際会議
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.機械科学講座
著者 必須
  1. (英) Yamanaka, Kazushi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 西野 秀郎([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.材料科学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.材料科学講座])
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Cho, Hideo
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Nagata, Yoshihiko
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Koda, Toshio
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. (英) Inaba, Masatoshi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  7. (英) Sato, Akinobu
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  8. (英) Tsukahara, Yusuke
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Noncontact characterization of crystal surface and thin films by thye phase velocity scanning of laser interference fringes

副題 任意
要約 任意

(日) 固体試料表面に周波数の異なる2本のレーザービームを交差干渉させることによって発生する走査干渉縞を用いた高効率弾性表面波励起方法を用いた弾性表面波の位相速度の計測について示した.試料には,ポーラスシリコン膜を有するシリコン単結晶材料と,スパッターで作成した窒化シリコン膜を有するシリコン単結晶材料を用いた.ポーラスシリコン膜では,弾性率と密度の低下に伴い音速が低下したことを示す結果が得られた.また窒化シリコン膜では,弾性率の向上が原因と見られる音速の向上が観測され,理論との併用により薄膜上の窒化シリコンの弾性率の推定に成功した.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 (英) Proceedings of IEEE Ultrasonic symposium
ISSN 任意
必須 94
必須
必須 1211 1214
都市 必須 (英) Cannes, France
年月日 必須 1994年 11月 1日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意