徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [林 澈文]/[辛 道勲]/林 祐輔/入江 桂史/[村上 理一]/[金 允海]/メタン/水素マイクロ波プラズマCVD法による純チタン基板上のナノダイヤモンド成膜/[材料]

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EID
117495
EOID
761741
Map
0
LastModified
2014年12月17日(水) 16:48:36
Operator
三木 ちひろ
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TRUE
Censor
0
Owner
[学科長]/[徳島大学.工学部.機械工学科]
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 日本語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨 研究
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座
著者 必須
  1. 林 澈文
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 辛 道勲
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Hayashi Yusuke / (日) 林 祐輔 / (読) はやし ゆうすけ
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Irie Keishi / (日) 入江 桂史 / (読) いりえ けいし
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 村上 理一
    役割 任意

    (日) 計画,実験,考察,論文執筆

    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 金 允海([徳島大学.工学部.機械工学科.生産システム講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Deposition of Nanocrystalline Diamond Films on Pure Ti by CH4/H2 Microwave Plasma CVD

(日) メタン/水素マイクロ波プラズマCVD法による純チタン基板上のナノダイヤモンド成膜

副題 任意
要約 任意

(日) マイクロ波プラズマCVD法を用いてメタン/水素混合ガスを流すことによって純チタン基板上にナノダイヤモンドを成膜し,そのナノダイヤモンドの形成過程を明らかにするとともにナノダイヤモンドの性質を解明した.

キーワード 推奨
  1. (英) Mircocrystalline diamond
  2. (英) Nanocrystalline diamond
  3. (英) Pure titanium substrate
  4. (英) Surface roughness
  5. (英) MPCVD
発行所 推奨 日本材料学会
誌名 必須 材料([日本材料学会])
(pISSN: 0514-5163, eISSN: 1880-7488)
ISSN 任意 0514-5163
ISSN: 0514-5163 (pISSN: 0514-5163, eISSN: 1880-7488)
Title: 材料
Supplier: 社団法人日本材料学会
Publisher: Society of Materials Science Japan
 (Webcat Plus  (J-STAGE  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 54
必須 1
必須 73 78
都市 任意
年月日 必須 2005年 1月 15日
URL 任意 http://ci.nii.ac.jp/naid/110006266386/
DOI 任意 10.2472/jsms.54.73    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意 110006266386
WOS 任意
Scopus 任意 2-s2.0-14944386995
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意