徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: Cho, Hideo/Sato, Harumichi/[西野 秀郎]/Tsukahara, Yusuke/Inaba, Masatoshi/Sato, Akinobu/Takemoto, Mikio/Nakano, Shizuka/Yamanaka, Kazushi/Nondestructive evaluation of elastic properties in porous silicon film on Si(100) by the phase velocity scanning of laser interference fringes/Proceedings of IEEE ultrasonic syposium

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EID
117077
EOID
234570
Map
0
LastModified
2005年7月14日(木) 11:42:12
Operator
近江 千代子
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
西野 秀郎
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 国際会議
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.機械科学講座
著者 必須
  1. (英) Cho, Hideo
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Sato, Harumichi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 西野 秀郎([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.材料科学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.材料科学講座])
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Tsukahara, Yusuke
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Inaba, Masatoshi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. (英) Sato, Akinobu
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  7. (英) Takemoto, Mikio
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  8. (英) Nakano, Shizuka
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  9. (英) Yamanaka, Kazushi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Nondestructive evaluation of elastic properties in porous silicon film on Si(100) by the phase velocity scanning of laser interference fringes

副題 任意
要約 任意

(日) 周波数の異なる2本のレーザービームを固体試料表面に交差干渉させることで発せさせる走査干渉縞を用いて高振幅のレイリー波をシリコン単結晶上に作成した多孔質シリコンの弾性的性質の計測を行った.検出には工学的ナイフエッジ法による非接触方式を用いることで,完全非接触で実験を行った.多孔質シリコンは,ドライ環境でないと破壊してしまう性質を有しており,従来の超音波顕微鏡による方法は不可能であった.多孔質化による弾性率の低下を確認出来た.また,多孔質比とモルフォロジー変化の相関を示すことにも成功している.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 (英) Proceedings of IEEE ultrasonic syposium
ISSN 任意
必須
必須
必須 757 760
都市 必須 シアトル(Seattle/[アメリカ合衆国])
年月日 必須 1995年 11月 7日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意