徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: Sato, Harumichi/Cho, Hideo/[西野 秀郎]/Ogiso, Hisato/Yamanaka, Kazushi/Evaluation of surface defects using surface acoustic waves generated by phase velocity scanning of laser intference fringes/[Japanese Journal of Applied Physics]

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EID
116934
EOID
216790
Map
0
LastModified
2005年3月11日(金) 20:52:36
Operator
西野 秀郎
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
西野 秀郎
Read
継承
Write
継承
Delete
継承
種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.機械工学科.機械科学講座
著者 必須
  1. (英) Sato, Harumichi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Cho, Hideo
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. 西野 秀郎([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.機械科学系.材料科学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.機械科学コース.材料科学講座])
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. (英) Ogiso, Hisato
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. (英) Yamanaka, Kazushi
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Evaluation of surface defects using surface acoustic waves generated by phase velocity scanning of laser intference fringes

副題 任意
要約 任意

(日) 周波数の異なる2本のレーザービームを固体試料表面に交差干渉させることで発せさせる走査干渉縞を用いて高振幅のレイリー波をシリコン単結晶上に励起し,シリコン単結晶上に作成された人工欠陥の検出実験を行った.人工欠陥は,ヌープ圧子を25gf,50fg,100gf,200gf,300gfの5種類で押し込むことで作成した.100fgのときに亀裂開講が30ミクロン程度となったが,その際には明確な反射波を検出することが出来た.また,試料エッジでの多重反射などの詳しい解析を行っている.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Japanese Journal of Applied Physics([応用物理学会])
(resolved by 0021-4922)
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
(resolved by 1347-4065)
ISSN: 0021-4922 (pISSN: 0021-4922, eISSN: 1347-4065)
Title: Japanese journal of applied physics (2008)
Title(ISO): Jpn J Appl Phys (2008)
Supplier: 社団法人応用物理学会
Publisher: Japan Society of Applied Physics
 (NLM Catalog  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Webcat Plus  (Scopus  (Scopus  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
ISSN 任意
必須 35
必須 5B
必須 3066 3069
都市 任意
年月日 必須 1996年 5月 初日
URL 任意
DOI 任意
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意