徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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著作: [富永 喜久雄]/Fukumoto Hidenori/Kondo Kumiko/[林 由佳子]/[村井 啓一郎]/[森賀 俊広]/[中林 一朗]/Amorphous Transparent Conductive Oxide Films of In2O3-ZnO with Additional Al2O3 Impurities/[Journal of Vacuum Science & Technology A]

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EID
116249
EOID
707296
Map
0
LastModified
2013年8月27日(火) 13:31:00
Operator
三木 ちひろ
Avail
TRUE
Censor
0
Owner
村井 啓一郎
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種別 必須 学術論文(審査論文)
言語 必須 英語
招待 推奨
審査 推奨 Peer Review
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学部.電気電子工学科.物性デバイス講座
著者 必須
  1. 富永 喜久雄
    役割 任意 共著
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. (英) Fukumoto Hidenori
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  3. (英) Kondo Kumiko
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  4. 林 由佳子
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  5. 村井 啓一郎([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  6. 森賀 俊広([徳島大学.大学院社会産業理工学研究部.理工学域.応用化学系.化学プロセス工学分野]/[徳島大学.理工学部.理工学科.応用化学システムコース.化学プロセス工学講座])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  7. 中林 一朗
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Amorphous Transparent Conductive Oxide Films of In2O3-ZnO with Additional Al2O3 Impurities

副題 任意
要約 任意

(日) ZnO-In2O3系透明導電膜にAl2O3を不純物として添加することで,新材料を開発し,この系の電気的特性,光学的特性について調べた.Zn/(Zn+In)の組成比を変えていくと,アモルファス相とホモロガス(結晶)相が現れた.これらの電気伝導メカニズムについて検討した.さらに,Al2O3の添加の効果が,Al2O3を添加しないZnO-In2O3アモルファス膜と比較して,電気伝導性を損なわずに光学的バンドギャップを広げる効果があることを発見した.また,アモルファス膜は表面が平坦であることも示した.これらのことは,透明電極への応用において意義のある発見である.というのは,これらの特長は青色や紫外用デバイスでの透明電極の応用にマッチした特性である.また,低温基板上にも作製できる点で,有機基板上への透明電極作製の展望が開けた.

キーワード 推奨
発行所 推奨
誌名 必須 Journal of Vacuum Science & Technology A(American Vacuum Society/[American Institute of Physics])
(pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
ISSN 任意 0734-2101
ISSN: 0734-2101 (pISSN: 0734-2101, eISSN: 1520-8559)
Title: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol A
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
必須 23
必須 3
必須 401 407
都市 任意
年月日 必須 2005年 5月 初日
URL 任意
DOI 任意 10.1116/1.1874172    (→Scopusで検索)
PMID 任意
NAID 任意
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意