徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

Education and Research Database (EDB), Tokushima University

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著作: [松尾 繁樹]/[三澤 弘明]/フェムト秒レーザを用いた微細加工/[高温学会誌]

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EID
103996
EOID
1087988
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LastModified
2023年9月6日(水) 13:46:52
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[ADMIN]
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TRUE
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[学科長]/[徳島大学.工学部.光応用工学科]
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種別 必須 総説·解説
言語 必須
招待 推奨
審査 推奨
カテゴリ 推奨
共著種別 推奨
学究種別 推奨
組織 推奨
  1. 徳島大学.工学研究科.エコシステム工学専攻.資源循環工学講座(〜2014年3月31日)
著者 必須
  1. 松尾 繁樹
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
  2. 三澤 弘明([北海道大学])
    役割 任意
    貢献度 任意
    学籍番号 推奨
題名 必須

(英) Microfabrication Using Femtosecond Laser

(日) フェムト秒レーザを用いた微細加工
副題 任意
要約 任意

(日) フェムト秒レーザーを用いた微細加工，特にフェムト秒レーザーパルスの集光照射とそれに続くウエットエッチングによる三次元マイクロ流路の作製について概説した．
キーワード 推奨
  1. フェムト秒レーザー(femtosecond laser)
  2. (英) Microfabrication
  3. フェムト秒レーザー支援エッチング(femtosecond laser-assisted etching)
  4. (英) Sapphire
発行所 推奨 社団法人 高温学会
誌名 必須 高温学会誌([社団法人 高温学会])
(pISSN: 0387-1096)
ISSN 任意 0387-1096
ISSN: 0387-1096 (pISSN: 0387-1096)
Title: 高温学会誌
Supplier: 一般社団法人 スマートプロセス学会 (旧高温学会)
Publisher: Sumart Processing Society for Materials, Environment and Energy
 (J-STAGE)   (CrossRef)  (No Scopus information.)
巻 必須 30
号 必須 2
頁 必須 77 81
都市 任意
年月日 必須 2004年 3月 30日
URL 任意 http://ci.nii.ac.jp/naid/10029251917/
DOI 任意
PMID 任意
CRID 任意 1523106605020022784
WOS 任意
Scopus 任意
評価値 任意
被引用数 任意
指導教員 推奨
備考 任意