徳島大学 教育・研究者情報データベース(EDB)

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雑誌: Journal of Vacuum Science & Technology B

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EID
101318
EOID
830901
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0
LastModified
2016年8月19日(金) 13:48:24
Operator
大家 隆弘
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TRUE
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0
Owner
EDB管理者
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組織
  1. (英) American Vacuum Society
名称
  1. (英) Journal of Vacuum Science & Technology B
  2. (英) J. Avc. Sci. Technol. B / (日) Journal of Vacuum Science and Technology B
  3. (英) JVST B / (日) Microelectronics and Nanometer Structures: Processing, Measurement, and Phenomena
ISSN 1071-1023
ISSN: 1071-1023 (pISSN: 1071-1023, eISSN: 0734-211X)
Title: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures : processing, measurement, and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol B Microelectron Nanometer Struct Process Meas Phenom
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (Scopus  (CrossRef  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
eISSN 0734-211X
ISSN: 1071-1023 (pISSN: 1071-1023, eISSN: 0734-211X)
Title: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures : processing, measurement, and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society
Title(ISO): J Vac Sci Technol B Microelectron Nanometer Struct Process Meas Phenom
Publisher: American Institute of Physics
 (NLM Catalog  (Scopus  (Scopus  (CrossRef  (CrossRef (Scopus information is found. [need login])
URL http://scitation.aip.org/journals/doc/JVTBD9-home/top.jsp
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